人民網北京9月15日電 (方經綸)據工業和信息化部官網消息,為促進首臺(套)重大技術裝備創新發展和推廣應用,加強產業、財政、金融、科技等國家支持政策的協同,工業和信息化部近日印發《首臺(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄(2024年版)》(以下簡稱《指導目錄》),其中在電子專用裝備目錄下,“集成電路生產裝備”包括氟化氬光刻機,光源193納米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。
按照市場監管總局等5部門于今年4月聯合印發的《中國首臺(套)重大技術裝備檢測評定管理辦法(試行)》,重大技術裝備是國之重器,事關綜合國力和國家安全。中國首臺(套)重大技術裝備,是指國內實現重大技術突破、擁有知識產權、尚未取得明顯市場業績的裝備產品,包括整機設備、核心系統和關鍵零部件等。
《首臺(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄(2024年版)》截圖。